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空氣凈化技術(shù)應(yīng)用到半導(dǎo)體工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)車間相對比較大，要建立一個無塵車間環(huán)境難度更大。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾夾層以及墻體的方法演化為潔凈工作胎法，這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫裸的物質(zhì)。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中存儲、運(yùn)輸。在大型的車間中按順序排列的工作臺組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而從露于空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸，HEPA過濾器可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。