山東凈化工程亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)高效過濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。山東凈化工程因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
在單向流潔凈室內(nèi),從送風(fēng)口到回風(fēng)口,山東凈化工程氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜箱和高效過濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。山東凈化工程這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一,并且干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為活塞流、平推流前蘇聯(lián)稱之為被擠壓的弱空氣射流。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)氣缸,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒有返回,山東凈化工程把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),山東凈化工程冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在*密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面*難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)**佳溫度范圍為3545%。http://
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